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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:小型單靶磁控直流濺射鍍膜儀

  • 產(chǎn)品型號(hào):MSP180G-DC
  • 產(chǎn)品廠商:泰諾
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹:
小型單靶磁控直流濺射鍍膜儀是一款實(shí)驗(yàn)室制備材料薄膜的理想設(shè)備,該小小型單靶磁控直流濺射鍍膜儀配150W直流電源,可用于金屬濺射鍍膜。
詳情介紹:

小型單靶磁控直流濺射鍍膜儀經(jīng)過小型化設(shè)計(jì),將設(shè)備外形限制在了桌面級(jí)別,大大減少了安裝場(chǎng)地需求。設(shè)備配有一個(gè)直流電源,能夠用于濺射金屬材料,具有速度快溫升低等特點(diǎn)。


名稱
小型單靶磁控直流濺射鍍膜儀
特點(diǎn)
  • 速度快溫升低
  • 可用于制備單層鐵電薄膜、導(dǎo)電薄膜、合金薄膜等
  • 小型化設(shè)計(jì),將設(shè)備外形限制在了桌面級(jí)別
技術(shù)參數(shù)
  • 樣品臺(tái): 直徑100mm,可加熱 *高溫度500℃,可旋轉(zhuǎn) 0-20rpm 可調(diào)
  • 磁控靶槍: 2 英寸圓形平面靶, 
  • 真空腔體: Φ180mm × H 215mm;高純石英; 觀察窗口 全向透明; 開啟方式 頂蓋拆卸式
  • 直流電源: 功率 *大150W ,數(shù)量 1
  • 真空系統(tǒng) 
  1.  機(jī)械泵 旋片泵 抽速 1.1L/S,
  2.  分子泵 渦輪分子泵 抽速 600L/s
  3.  真空測(cè)量 電阻規(guī)+電離規(guī)
  4.  極限真空 1.0E-4Pa
  5.  抽氣接口 KF16
    抽氣接口 KF40
    排氣接口 KF16
  • 供電電壓:AC220V 50H 整機(jī)功率 2kw
  • 整機(jī)尺寸:550*350*400mm