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○ 產品介紹
TN-GSL-LCD是一款多路質量流量計控制系統，其質量流量計和不銹鋼混氣罐都安裝在一個移動柜里，移動柜*大可以承重1000Lbs，所以在與本公司大多數管式爐配套使用時，可將管式爐置于移動柜上以節約空間。各通道氣路的流量設定和狀態顯示都集中在一6"的觸摸屏上，同時可以實時查看氣體流量曲線和數據。此款設備廣泛的用于材料界中CVD實驗和各種材料的退火實驗。
○ 適用范圍
廣泛的用于材料界中CVD實驗和各種材料的退火實驗。
○ 技術參數
功能
雙通道
三通道
四通道
五通道
質子流量控制器
工作溫度：5~45oC
工作溫度：5~45 oC
工作溫度: 5~45 oC
工作溫度: 5~45 oC
輸入電源
AC 220V/50Hz單相
功率
23W
PLC觸摸屏
各通道的氣路設定和查看都集中在一6"的觸摸屏上
RS485 通訊接口和PC控溫軟件可以連接到電腦上，進行遠程控制
機械壓力表
有一機械壓力表安裝于前面板上，與混氣罐相連接
量程:-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid)
針閥
316 不銹鋼
通氣管道
內部連接管道為1/4”不銹鋼管
外部通氣管道為1/4”聚四氟管
混氣罐
Φ80X120mm
截止閥及配件
316不銹鋼針閥
外形尺寸
600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)
質量認證
CE認證
質保期
一年質保期，終身維護
*大壓力:3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
重復精度: ±0.2%F.S.
流量范圍:
一路:1~199 SCCM
二路:1~499 SCCM
注意：其他流量范圍的可定制，需額外費用
*大壓力: 3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
重復精度: ±0.2%F.S.
流量范圍:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~499 SCCM
注意：其他流量范圍的可定制，需額外費用
*大壓力:3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
重復精度: ±0.2%F.S.
流量范圍:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~199 SCCM
四路: 1~499 SCCM
注意：其他流量范圍的可定制，需額外費用
*大壓力: 3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
重復精度: ±0.2%F.S.
流量范圍:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~199 SCCM
四路: 1~499 SCCM
五-九路可按照客戶要求定制
Φ1/4” 不銹鋼管
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