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各種 CVD
  • PECVD等離子體增強化學... 化學氣相沉積采用等離子體增強型化學氣相沉積技術,能夠利用高能量等離子體促進反應過程,有效提升反應速度,降低反應溫度。適用...
  • CVD化學氣相沉積系統(tǒng) CVD(化學氣相沉積)氣相沉積系統(tǒng)是一種常用的薄膜制備技術,通過在高溫下將氣體反應物質與基底表面反應,形成薄膜
  • 派瑞林真空氣相沉積 派瑞林真空氣相沉積(PECVD)是一種常用的薄膜沉積技術,用于在材料表面上制備薄膜。它是在真空環(huán)境中使用氣相化學反應來沉...
  • PECVD氣相沉積 PECVD氣相沉積在超大規(guī)模集成電路、光電器件、MEMS等領域具有廣泛的應用
  • 旋轉等離子增強CVD化學沉... 旋轉等離子增強CVD化學沉積系統(tǒng)十分適合在氣氛保護的環(huán)境下連續(xù)對粉末材料用CVD方法進行包裹和修飾,旋轉等離子增強CVD...
  • 雙溫區(qū)滑道旋轉管式爐CVD... 雙溫區(qū)滑道旋轉管式爐CVD系統(tǒng)十分適合在氣氛保護的環(huán)境下連續(xù)對粉末材料用CVD方法進行包裹和修飾,雙溫區(qū)滑道旋轉管式爐C...
  • 等離子增強物理化學氣相沉積... 等離子增強物理化學氣相沉積HPCVD包括一臺雙溫區(qū)管式爐,一套鎢絲蒸發(fā)源,一套等離子發(fā)生裝置以及一套質量流量計系統(tǒng),等離...
  • 晶圓級大尺寸二硫化鉬制備裝... 晶圓級大尺寸二硫化鉬制備裝置包括三溫區(qū)管式爐,特殊設計的爐管及配套氣路一組,晶圓級大尺寸二硫化鉬制備裝置通過特殊設計的管...
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