○ 產(chǎn)品介紹

該組CVD設(shè)備為小型化CVD系統(tǒng)，核心是一款迷你管式爐，采用電阻絲加熱，設(shè)備*高溫度可達(dá)1200℃。儀器還包含一臺三路浮子流量計(jì)，一臺分子泵組，分別構(gòu)成了CVD的進(jìn)氣和出氣部分。爐管右側(cè)有數(shù)顯真空計(jì)，用以控制爐管內(nèi)部的真空度和氣氛環(huán)境。系統(tǒng)采用PID智能控溫，控溫精度能達(dá)到±1℃。
管式爐在操作上采用溫控表操作，可預(yù)設(shè)控溫曲線，一鍵啟停，便于使用，能夠簡化實(shí)驗(yàn)操作進(jìn)而節(jié)約試驗(yàn)時(shí)間。高真空分子泵組可以有效提高本低真空度，提高反應(yīng)產(chǎn)物的質(zhì)量。

○ 技術(shù)參數(shù)    

1200℃迷你管式爐參數(shù) 

供電電壓	AC220V,50Hz
*大功率	2KW
加熱溫區(qū)	單溫區(qū)200mm 恒溫區(qū)長 100mm
加熱元件	耐熱合金絲
熱電偶	K型
工作溫度	≤1150℃
升溫速率	建議≤10℃
控溫	方式AI-PID 30段工藝曲線，帶有過熱和斷偶保護(hù)，精度+-1℃
爐管	高純石英，φ50mm O.D x 450mm L
真空系統(tǒng)	機(jī)械泵  抽速1.1L/s ，極限真空 5Pa

三路質(zhì)量流量計(jì)參數(shù)

閥門類型	不銹鋼針閥
氣路數(shù)量	三路
承壓范圍	0.05~0.3MPa
量程	160SCCM（Air）
混氣罐容積	750mL
氣路材料	304不銹鋼
管道接口	6.35mm卡套接頭

分子泵組參數(shù)

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