0371-5536 5392 0371-5519 9322
本產(chǎn)品為手套箱專用型小型蒸發(fā)鍍膜儀，可提供*大100A的鍍膜電流，*大蒸發(fā)溫度可達1800℃，能夠滿足常見金屬及部分非金屬的蒸鍍。真空腔體采用高純石英制作，具有便于觀察鍍膜過程，易于清洗的優(yōu)點；配合分子泵組可達到5x10-4Pa極限真空，能夠有效保證蒸鍍薄膜的純凈度和結(jié)合力。儀器體積小巧，經(jīng)過小型化設計，可有效節(jié)約實驗室空間，專為手套箱內(nèi)使用設計；操作簡單，對不同材料的適應性強，十分適合實驗室選購。
小型蒸發(fā)鍍膜儀技術參數(shù)：
產(chǎn)品名稱
手套箱型小型蒸發(fā)鍍膜儀
產(chǎn)品型號
CY-EVP180G-1S-G（glovebox 手套箱）
安裝條件
1、使用環(huán)境溫度 25℃±15℃，濕度 55%Rh±10%Rh；
2、設備供電：AC220V，50Hz，必須有良好接地；
3、額定功率：1200w；
4、設備用氣：設備腔室內(nèi)需充注氬氣清洗，需客戶自備氬氣，純
度 ≥99.99%；
5、擺放工作臺尺寸要求 580mm×250mm×330mm，承重 30kg 以上；
6、擺放位置要求通風。
技術參數(shù)
1、 蒸發(fā)源電壓：10V
2、 蒸發(fā)電流 0～100A 連續(xù)可調(diào)
3、 配 1 個鎢舟、1 個鎢絲籃；
4、 不銹鋼樣品臺,直徑為60mm；
5、 樣品與蒸發(fā)源的距離為 20～55mm 連續(xù)可調(diào)；
6、 真空腔體為石英腔體其直徑為180mm，高度為100mm；
7、 真空腔體抽氣接口為 KF16；
8、 進氣接口為 1/4 英寸雙卡套接頭，默認配不銹鋼微調(diào)閥以調(diào)節(jié)進氣量；
9、 顯示屏為7英寸彩色觸摸屏；
10、 可調(diào)節(jié)蒸發(fā)電流，可設置蒸發(fā)**電流值、**真空值；
11、 **保護：過流、真空過低自動切斷蒸發(fā)電流；
12、 極限真空：5E-4Pa(搭配分子泵)；
13、 真空測量為電阻規(guī)真空計，其量程為：1～105Pa
注意事項
1、對于蒸鍍對氧較敏感的材料，建議使用分子泵組。
2、為了達到較高的無氧環(huán)境，至少要用高純惰性氣體對真空腔體清洗 3 次。
可選配件
膜厚監(jiān)測儀
1、膜厚分辨率：0.0136?（鋁）
2、膜厚準確度：±0.5%，取決于過程條件，特別是傳感器的位置，
材料應力，溫度和密度
3、測量速度：100ms-1s/次，可設置測量范圍：500000?（鋁）
4、標準傳感器晶體：6MHz
5、適用晶片頻率：6MHz 適用晶片尺寸：Φ14mm 安裝法蘭：CF35
其他配件
1、鎢舟、鎢絲籃；
2、有機蒸發(fā)源（含石英舟和鎢絲發(fā)熱源）
3、CY-CZK103系列高性能分子泵組（含復合真空計，測量范圍10-5Pa~105Pa）；
CY-GZK60系列小型分子泵組（含復合真空計，測量范圍10-5Pa~102Pa）
VRD-4雙極旋片真空泵；
4、KF16真空波紋管；長度可選0.5m、1m、1.5m；KF25卡箍支架
5、膜厚儀晶振片；
